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資料筆數 12 筆• 頁次 /2•每頁 10 第一頁 前一頁 下一頁 最末頁
產品名稱: Coater/Developer SK系列
產品簡介: 大型TFT Array用Coater/Developer、市佔率No.1
產品特長
1. 由於在開發階段時已設計IN-LINE化, 可以非常容易的與曝光機、Titler、檢查機等機台進行IN-LINE連接。
2. 生產線整體為一貫化系統控制可以達到Unit間的物流効率,並且發揮最極限的生産性。
3. Coater部搭載SLIT方式塗布系統的「linear Coater®」。
4. 採用Paddle顯像方式,顯像液的循環量少,並可抑制顯像液的劣化。
5. 可將伴隨著基板大型化而增加的機台Footprint抑制在最低限度。
基板尺寸
730 × 920mm 以上
產品名稱: Multi Coater Linearcoater® LC-M系列彈性對應多用途基板
產品簡介: 彈性對應多用途基板
產品特長
1.省光阻用量,實現極優的塗布均一性。
2. 對應從0.1µm的薄膜到10µm厚膜的各種塗布材料。
3. 搭載獨特的Nozzle洗淨機構,可縮短Downtime。
4. 針對使用多種塗布材料的生產線,備有 2 Nozzle 的規格。
5. 可以與Coater/Developer做In-line連接。
基板尺寸
360 × 465mm 以上
產品名稱: Roller Coater RC-353/553-P Roller式光阻塗布的標準機台
產品簡介: Roller式光阻塗布的標準機台
產品特長
1. 不會受基板尺寸/厚度的影響,可在Glass、Ceramic等的各種基板上進行Resist的均一塗布。
2. 在STN、TN、Thermal head等實現Resist均一塗布與高生產力。
3. 採用本公司獨家設計的特殊Roller。
產品名稱: WET處理機台 TS/TE/TR系列大型TFT Array用、擁有傲人實績的WET處理機台
產品簡介: 大型TFT Array用、擁有傲人實績的WET處理機台
產品特長
洗淨機台 TS系列
1. 採用傾斜搬送方式與複合洗淨方式,實現優越的Particle除去率。
2. 利用傾斜搬送方式減低純水/Air的使用量。
Wet Etching機台 TE系列
1. DNS獨自開發的各種Spary Nozzle,搭配水平/傾斜處理,實現符合客戶Process的優越Etching處理。
2. 在水洗/乾燥槽利用傾斜處理減低純水/Air的使用量。
Resist剝離機台 TR系列
1. 利用剝離工具「Multi Scan Jet」與傾斜處理,實現高剝離性能。減低Mist的發生量,防止Resist的再付著與殘渣。
2. 利用傾斜處理來減低純水/Air的使用量。
3. 可以與洗淨Module進行IN-LINE來當作剝離後的洗淨機能。
基板尺寸
 300 × 300mm 以上
產品名稱: 自動Mura檢查機台 KI系列/SI系列取代過去目視檢查的最新型外觀檢查機台
產品簡介: 取代過去目視檢查的最新型外觀檢查機台
產品特長
1. DNS獨自開發運用熟練檢查員觀測干渉光原理的Algorithm,實現目視檢查的自動化。
2. 透過 DNS獨自開發的光學系統高感度檢查,可精確的檢測出目視也無法檢查到的微小Mura。
3. 採用高速處理可在製造生產線內進行全數自動檢查。
4. 利用干渉光和回折光的檢查也可以進行Etching的Taper確認等。
產品名稱: 光學式自動外觀檢查機台 TI系列針對高精細Pattern工程以低虛報率高速檢查缺陷
產品簡介: 針對高精細Pattern工程以低虛報率高速檢查缺陷
產品特長
1. 透過DNS獨自開發的高分解能光學系統,可以檢測出細微的缺陷。
2. 配合檢查對象可切換波長。透明電極等的缺陷也可以很容易的檢測出。
3. 使用Real-time ADC(自動缺陷分類),同時進行缺陷情報的高速分類。缺陷分類可以由客戶制定。
4. 透過Array用、週邊回路用的2個Algorithm的同時處理,可針對基板全面進行高速檢查。
大型基板對應Model TI-H系列
高速對應的大型基板用High End Model
高精細對應Model TI-S系列(Auto Loader Model)、TI-MSV系列(Manual搬送Model)
透過1.5µm 的光學分解能,連超細微的缺陷也能確實的檢測出。
產品名稱: 玻璃材雷射金屬轉印ID Marking系統(Titler)
產品簡介: 這個系統是用Laser在Glass素材上打印(Marking)上ID。不受Glass的厚度・膜厚等Glass表面狀態的影響,實現微細的Marking。 轉寫金屬因為與Glass強力緊密的結合,其耐藥品性、耐擦性都非常優越。
FPD(TFT-LCD、CF、OLED、PDP)、CCFL管 、太陽能發電Panel(Glass基板、Silicon Cell)、其他、Ceramics、Teflon、金屬面都能夠可以印字。
產品名稱: 濃度管理系統
產品簡介: 此濃度管理系統,由濃度計,供給unit,管理PC構成,可對應之藥液有AL酸(HNO3+CH3COOH+H3PO4),SiO、SiN酸(BHF:HF+NH4F) ITO 王水系列與草酸系列,藉由單酸的補充,達到延長藥液壽命5~20倍的功能,同時提高產品的穩定性,減少藥液的使用量,間接減少廢液的排放量,達到COST/DOWN 的目的.
產品名稱: ITO 樹脂RECYCLE 系統
產品簡介: 藉由此系統的循環功能,將可吸附銦離子的樹脂裝於桶中,經由藥液的循環將銦離子吸附於樹脂上,達到延長藥液壽命與FILTER壽命的目的,也大大減少藥液結晶的機會,提升設備稼動率,降低生產成本.
產品名稱: 保養系列ITO/ SIO/ SIN /HF /CR 結晶溶解劑
產品簡介: 在LCD 製程中蝕刻機台上常會發生因結晶問題導致製程上出現異常,或是造成生產基板表面之損傷,因此需要定期對機台做保養般的長時間清洗動作,但是在長時間的洗淨及溫水管路循環下,可能無法清洗到管路內部或是處理Tank內之細部場所,加上結晶本身也是有危險性的,是否能完全洗淨則是不可斷言的。本公司可提供將此類問題根本解決之溶解洗淨藥液。
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